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VOC废气设备常用的方法有：冷凝回收法、吸附法、吸附法（直接吸收法、吸附法、吸附法、催化燃烧法）、直接燃烧法、催化燃烧法等。目前化学有机废气处理常用的设备是循环热氧化炉（RTO）。与守旧的催化燃烧设备和直接燃烧热氧化炉相比，运行成本还行、风量大、浓度低的优点。
VOC废气设备使用气流横断面方向上的小尺度沉降体，就能地实现粉尘的惯性别离。使用赞性机理别离粉尘，给气流带来大的压力丢失。但是，它能到达很高的捕集功率，从而使这一缺陷得以补偿。粉尘惯性分离机理在于当气流绕过某种形式的障碍物时，可以使粉尘粒子从气流中别离出来。障碍物的横断面尺度越大，气流绕过障碍物时活动线路严重偏离直线方向就开端的越早，相应地，悬浮在气流中的粉尘粒子开端偏离直线方向也就越早。反之，假如障碍物尺度小，则粒子运动方向在接近障碍物处开端偏移（由于其承载气流的流线发生曲折而引起）。在气体流速相等的条件下，就可发现二种状况的惯性力大。所以，障碍物的横断面尺度越小，顺着障碍物方向运动的粒子到达其表面的概率就越大，而不与绕行气流一道绕过障碍物。
废气处理设备的维护保养方法：
1、认真执行各项规章制度：应具备一套适合自身实际情况的运行管理制度，如岗位责任制、换班制、检查制、设备维护检修制、健康检查制、质量检查制和经济核算制等。
2、强调各工种的相互配合：在生产中，生产的正常运行经常受到VOC废气设备辅助工作误差的影响。例如，分析中的错误将导致进料量和物料成分的改变，仪表的错误指示会欺骗操作人员，导致实际操作条件偏离工艺程序的要求。电气和设备故障也会导致异常生产。
3、严格遵守废气处理工艺技术规定：这些规定是组织生产与操作的基本法律法规，是从生产和科研实践中总结出来的规律性的东西。严格遵守这些规定是日常工作中较重要的原则。
废气处理设备的技术特点：
1、活性自由基·OH的氧化电位（2.8eV）比氧化性不错的臭氧的氧化电位（2.07eV）还高出35％。·OH自由基与有机物的反应速度高出几个数量级。而且·OH自由基对氧化污染物的反应是无选择性的，可引发链式反应，直接将污染空气中的大部分不好的物质氧化为二氧化碳和水或矿物质。
2、没有别的作用。全部超过了守旧的处理装置，能在有人的环境中持续清洁、对人体洁净副作用。能广谱地截获并且杀灭空气中的各类细菌，测试证明对金黄色葡萄球菌、枯草杆菌、黑色变种芽孢及自然菌杀灭率达95％以上，除去可吸入颗粒，达到1-10万级洁净度。
3、能除掉不好的、异味气体，初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时，氧分子离子化。失去电子的氧分子变成正性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负性氧离子（O2-），结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的离子群，具有不错的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的不好的成分氧化分解为没有危害的产物和水；O2+e（3.6eV）→·O+OH2O+e（5.09eV）→·OH+HO+·OH→·OH2。
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